کتاب تئوری و فن آوری ساخت ادوات نیمه هادی

درفصل نخست، پس از ارائه کلیات و مقدمات در رابطه با ساختار منظم تک کریستال های نیمه هادی، مخصوصا از جنس سیلیسیم، چگونگی رشد تک کریستال آنها را با هدف تولید ویفرهای نیمه هادی بررسی می شود. فصول دوم تا چهارم به طور مشروح فرآیندهای اکسیدسازی، نیتریدسازی، نفوذ حرارتی و کاشت یونی آلاینده ها درون سیلیسیم را توضیح می دهد. روش های مختلف لیتوگرافی در تهیه الگوهای مناسب و چگونگی چینش ادوات ریز الکترونیک روی مدار یکپارچه در فصل پنجم بررسی می شود. انواع روش های لایه نشانی و شستشوی شیمیایی موضوع بحث فصل ششم است. فصول هفتم و هشتم کتاب را به بحث اثرات پارازیتی و ناخواسته در ادوات مجتمع اعم از غیرفعال و فعال چن. ان در فصل نهم کتاب، با توجه به نیاز روزافزون به ساخت ترانزیستورهای پر سرعت تا مرز چند صد گیگاهرتز و حتی بالاتر، راههای افزایش سرعت مدارهای مجتمع بررسی می شود. از جمله مدارهای مجتمع ساخته شده با ترکیبی از ترانزیستورهای تک قطبی و دو قطبی، و همچنین کاربرد پدیده ابررسانایی در ساخت مدارهای مجتمع در درجات حرارت پائین. فصل دهم به چگونگی ساخت و فیزیک ادوات نیمه هادی ترکیبی اختصاص داده شده است. فصول یازدهم و دوازدهم، فیزیک ادوات دو پایه ای دیودی و سه پایه ای ترانزیستوری با استفاده از اتصالات نامتجانس را بررسی می شود. این اتصالات از نیمه هادی های ترکیبی نظیر گالیم-ارسناید و سیلیسیم- ژرمانیم ساخته می شوند و از نظر سرعت کار هم در فرکانس های بالای چندین تراهرتز قادر به کار هستند. در فصل سیزدهم، فن آوری ساخت ترانزیستورهای نامتجانس بحث می شود. در فصل چهاردهم روشهای اندازهگیری در ساخت ادوات نیمه هادی معرفی می شود.

• فیزیک و تکنولوژی قطعات نیمرسانا ~زی، غلامحسین سدیرعابدی (مترجم)، محمد حسینی (ویراستار)
• فیزیک الکترونیک ~بن جی. استریتمن، غلامحسین رویین تن (مترجم)، سعید صمدی (مترجم)
• Solid State Electronic Devices ~Sanjay Banerjee, Ben.G. Streetman
• فیزیک افزاره های نوری ~شون لین جوانگ، علی بهرامی (مترجم)، مینا نوری (ویراستار)
• تئوری و فن آوری ساخت ادوات نیمه هادی ~حسن کاتوزیان
• موارد بیشتر (41)

• فتونیک ~حسن کاتوزیان